志昇半導(dǎo)體UV固化機(jī)，芯片單晶硅隧道式干燥機(jī)

半導(dǎo)體UV固化機(jī)通過高能紫外光（365nm/395nm）激發(fā)光引發(fā)劑聚合反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)膠水、光刻膠的秒*固化，其峰值光強(qiáng)≥1500mW/cm2可穿透50μm厚膠層，使晶圓封裝翹曲率降低至0.02mm/m。采用多通道LED陣列與光學(xué)透鏡組，能量均勻性達(dá)±3%，解決Mini LED巨量轉(zhuǎn)移中因固化不均導(dǎo)致的亮度差異問題。在Flip Chip工藝中，UV固化機(jī)通過閉環(huán)溫控（±1℃）抑制熱膨脹，使錫球回流焊良率提升12%；配合氮?dú)舛栊原h(huán)境（氧含量<100ppm），可避免自由基聚合被氧氣阻聚，確保Underfill膠體固化度達(dá)99.9%。針對3D IC堆疊，其動(dòng)態(tài)光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能（10%~**無*變速）適配不同介電材料，TSV填膠孔隙率降至0.5%以下。當(dāng)前第五代機(jī)型集成AI光斑追蹤系統(tǒng)，實(shí)時(shí)補(bǔ)償基板形變引發(fā)的焦距偏移，使FOWLP工藝的固化位置精度達(dá)±5μm。半導(dǎo)體UV固化機(jī)正以**、低溫、零污染的優(yōu)勢，成為先進(jìn)封裝不可或缺的裝備。