浙江某 CVD 人造鉆石制造商采用伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 對(duì)其 CVD 鉆石生產(chǎn)設(shè)備長(zhǎng)晶爐檢漏, 客戶(hù)采用負(fù)壓法對(duì) Seki 長(zhǎng)晶爐設(shè)備真空腔和氣體供應(yīng)系統(tǒng)進(jìn)行檢漏, 經(jīng)過(guò)泄漏檢測(cè), 生產(chǎn)的人造鉆石可以匹配甚至超過(guò)天然鉆石的質(zhì)量和特性！
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):
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型號(hào) |
ASM340 |
ASM340 D |
ASM340 I |
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對(duì)氦氣的*小檢檢漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
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檢測(cè)模式 |
真空模式和吸模式 |
真空模式和吸 模式 |
真空模式和吸 模式 |
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檢測(cè)氣體 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
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啟動(dòng)時(shí)間 min |
3 |
3 |
3 |
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對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
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進(jìn)氣口*大壓力 hPa |
25 |
25 |
5 |
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前*泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前*泵 |
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重量 kg |
56 |
45 |
32 |
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點(diǎn):
1. 前*泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s
3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的*小檢檢漏率：
真空模式：5E-13 Pa m3/s
吸 模式：5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)*小漏率
4. 移動(dòng)式操作面板（有線、無(wú)線）
5. 集成SD卡, 方便資料處理
6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)性
7. 豐富的可選配件, 如吸 、遙控器、小推車(chē)、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等
8. 檢測(cè)時(shí)間短
待檢漏產(chǎn)品:
長(zhǎng)晶爐設(shè)備需要檢漏:
在 CVD 過(guò)程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然后通入富碳?xì)怏w ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應(yīng)系統(tǒng)有漏, 直接影響原子沉積, 導(dǎo)致無(wú)法形成鉆石或質(zhì)量不佳.
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