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公司基本資料信息
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功能用途
本產(chǎn)品利用渦流原理制造: 即被測(cè)蒸鋁層靠近高頻激磁磁場(chǎng)時(shí), 感應(yīng)產(chǎn)生渦電流, 因而產(chǎn)生渦流磁場(chǎng), 此渦流磁場(chǎng)反作用于原來激磁磁場(chǎng), 使傳感器阻抗發(fā)生變化, 然后通過檢測(cè)電路并進(jìn)行放大, 輸出與厚度相對(duì)應(yīng)模擬電壓。
技術(shù)參數(shù)
可測(cè)量范圍與量程
被測(cè)薄膜尺寸:100mm±10%×200mm±10%
測(cè)量量程 :厚度90~800Å (0.009~0.08µm) 方阻95~0.47Ω/□
精確度
測(cè)量準(zhǔn)確度 :厚度 ±(20Å+2%讀數(shù)) 方阻 ±0.15Ω/□(在300~500Å范圍)
讀數(shù)重現(xiàn)性 :10Å (同一測(cè)量點(diǎn))
儀器尺寸 :120 x 320 x 400(毫米)
重量 :毛重7公斤
配置
鍍鋁膜測(cè)厚儀壹臺(tái)
校正片一片
電源線一根